花斑,道子的问题
各位大侠,我们在韩一机上镀AR膜,棱镜时,要先镀大面 再镀小面,以前2个面的温度都是345,大面出现花斑。现在大面的温度是355,小面的温度是345,检验的检查出来,大面还是有花斑,比之前的好点,这种状况是什么原因产生的,花斑有什么产生?? 还有在光驰机上镀一面镀ar膜,一面镀UVIR膜 ,超声波超出来后 ,我们在强光灯下检 ,检出最好的片子放到镀膜机上镀,投了150,才合格了26片,大部分是细道子,这个是什么原因啊急。。。。。。。。。。。 你有没有用离子源,可以考虑一下是否是由于束流不稳的原因 镀棱镜时,用韩02机没有离子源 。 光池机上用离子源的 ,束流也稳定的 , 这几天天天在讨论 0317-014要良品率要达到80%,现在最好只有50%,都是道子,不知怎么产生的,机器上的版都是干净的,打扫也是亲自动手,能打扫的地方也都打扫了,还是很低 ,郁闷。还有dsc要达到96%,现在也只有95%左右 ,哎哎 烘烤的问题,温度为何要345度?太高了。
电子枪周围的温度也很高吧。电子枪很容易脏。
花斑是烘烤引起的,原因是静电场引起。
道子的话可能是烘烤温度过高,材料薄膜的特性吧,像镀MGF2这种膜料的话,基片温度当然得200度或250度左右。其它膜料加热温度低点就可以或不用加热。
有些基片是本身有道子的,看不出来,如果想证实的话,可以放到真空室抽上只烘烤就可以,烘烤完了再拿出来看一下。有没有就会发现的。
有问题QQ联系。QQ:123831403 会不会是在你镀二面之前,超声波把你一面已镀好的膜层给破坏,然后再经过高温烘烤,从而出现膜层开裂现象了。你试着用手擦拭二面(不用进超声波)后,镀制了瞧瞧。 第一个你的AR膜用啥材料啊
第二个估计超声的影响较大 会不会是在你镀二面之前,超声波把你一面已镀好的膜层给破坏 超声波清洗有可能产生问题!!!!!!!!!!! 学习了,收益匪浅。
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