急求,镀膜机出问题了!
用一台很老的DM-450C型真空镀膜机,机子估计已经用了很久了,期间还烧过一次。。。早上用机子的时候还不错,但是下午镀的时候一开始是开高阀没有用,气压一点也不动。
关机,重新启动,高阀开了,可以用了,但是抽到4E-3Pa的时候就抽不动了,而且过了几分钟后气压开始上升。
而且没有顶的,一直在升。
很奇怪,要是漏气的话应该顶多就是抽不动,怎么会气压还会上升呢?
请教各位大哥! 啥是烧过一次??? 很可能是高阀出问题了,高真空状态下关闭高阀真空度就会一直缓慢下降 DM450... 拉杆切换出现问题的可能性最大,其次就是储气罐 关闭相应的阀门,看看真空度变化情况。 1.漏气;
2.漏水;
有可能扩散泵有问题 请高手指点,我也在学习中。。。。。。。。。 扩散泵过热。把炉盘降低些试试。
将机子拆了吧,这么老!
页:
[1]