wfbadjx 发表于 2010-6-3 18:15:47

急求,镀膜机出问题了!

用一台很老的DM-450C型真空镀膜机,机子估计已经用了很久了,期间还烧过一次。。。
早上用机子的时候还不错,但是下午镀的时候一开始是开高阀没有用,气压一点也不动。
关机,重新启动,高阀开了,可以用了,但是抽到4E-3Pa的时候就抽不动了,而且过了几分钟后气压开始上升。
而且没有顶的,一直在升。
很奇怪,要是漏气的话应该顶多就是抽不动,怎么会气压还会上升呢?
请教各位大哥!

zzzz 发表于 2010-6-4 16:04:58

啥是烧过一次???

qjy 发表于 2010-6-4 16:31:32

很可能是高阀出问题了,高真空状态下关闭高阀真空度就会一直缓慢下降

280345601 发表于 2010-6-4 16:46:07

DM450...

resees 发表于 2010-6-4 20:52:55

拉杆切换出现问题的可能性最大,其次就是储气罐

z1206l 发表于 2010-6-29 20:28:31

关闭相应的阀门,看看真空度变化情况。

imgyang 发表于 2010-7-13 18:51:49

1.漏气;
2.漏水;

wazxq 发表于 2010-7-15 09:11:10

有可能扩散泵有问题

冰雨8788 发表于 2010-8-10 21:48:40

请高手指点,我也在学习中。。。。。。。。。

x_x_x_f 发表于 2010-8-27 23:26:34

扩散泵过热。把炉盘降低些试试。

ngfcaipiao 发表于 2010-8-28 12:14:22

将机子拆了吧,这么老!
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