好贴，好在于一句井底之蛙，让大家争论起来才看到真理，说实话，这个帖子我来后最喜欢的一个，不过在这方面实在是孤陋寡闻，只能看各位讨论，长长见识，特表歉意。
对了，你需要的这种类似的设备上海技术所的镀膜部好象有一台，空间很大，是做大型平板玻璃的，里面也装了类似的行星系统。具体机器我没去看过，问问见过的同行，可能能给你一些帮助！
谢谢各位的关注，相关的设备供应商已找到。
主要是看你想要什么的镀膜机你可以和国内厂家定做有什么样的要求都可以国内好多机子都可以行星好用过了就知道好呵呵韩国机也有这类机子，北仪现在不生产了他们也有，只要去定做想要什么不都是能达得到的
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ding
这东西说起来也不算大，不是非要用行星夹具的。如果是球面或是类似球面的那就要用行星夹具了。有个哥们儿在兰物所用我的方法做直径2000多的都没问题，你这400多的算个啥
韩一的我使用的蛮好的啊！{:6_143:}
楼上的qjy果然很强大，佩服佩服{:6_165:}
关于均匀性的论述楼上都有讲的差不多了,我很是受用。
我们之所以要在均匀性上下功夫主要是因为追求高产量下膜质均一性，要做到均一就要了解哪些因素导致了不均一，我们来分析一下：1、蒸发源离基板的距离 ；2、抽气气流的速率与方向；3、材料蒸发速率（即飞向基板的动能）；4、蒸汽入射角的差异（非平面基板，或蒸发源位置偏离圆心）；5、起始真空度；6、还有些其它的因素(如磁场的分布、腔体温度的均匀性、偏压大小、镀膜机的构造等等。）要做到膜质均匀其实是一件不容易的事需要调整好各个变量的关系。设计出好的工模夹具，才能做出更有竞争力的产品，这是是我们镀膜人的责任,大家加油。