xiaojiang007 发表于 2010-12-21 20:46:50

镀膜基片有麻点，怎么解决

有麻点什么原因   怎么解决   

mangovc 发表于 2010-12-22 09:55:38

你这样问实在太笼统了，点子种类大致有以下几种：基片抛光留下的电子，镀膜时膜料的喷溅点，离子源打火的点子，真空室漂浮的灰尘点，自己想办法去排查吧。

JZNT 发表于 2010-12-22 16:45:52

你是基片上面有点子还是镀膜后上面有点子呀？

xiaojiang007 发表于 2010-12-23 19:44:58

镀膜后发现的点子还蛮多的是不是镀膜速度快了?

yangdaoqi 发表于 2010-12-28 16:35:44

你应该说的具体一点，用什么膜料镀什么膜？什么机器？是MS还是EB

yangdaoqi 发表于 2010-12-28 16:35:48

你应该说的具体一点，用什么膜料镀什么膜？什么机器？是MS还是EB

JZNT 发表于 2010-12-29 11:18:04

要看是什么材料，是溅射还是蒸发。

jasmine131415 发表于 2010-12-29 12:18:10

镀膜基片有问题了 是不是镀膜晶振片出问题了？{:6_147:}

薛杰 发表于 2011-1-7 21:30:22

{:6_157:} 哪去抛光吧

xiaojiang007 发表于 2011-1-12 12:47:10

是采用蒸发药材是氟化钇   怎么控制让基片不产生麻点

wlinliu 发表于 2011-1-30 04:28:21

1.你需要保证基片干净无尘
2.将放气伐的放气速度减小
3.查看ION功率是否太大,在不影响工艺条件的情况下,减小ION功率
4.作业区域洁净度要有保证
5.镀膜室的洁净度是否达标,挡板或其他污染源是否需要更换
6.若是突然变化,镀膜数率是否有异常
7.请及时清洁离子源(ION)各部件
以上问题解决的话,我估计基本可以解决麻点问题,特别请注意第2和第7条.
谢谢关注!

xiaojiang007 发表于 2011-2-11 22:08:31

谢谢   
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