martin1980
发表于 2010-12-28 15:50:39
PMMA镀AR膜
现在做个在PMMA上镀AR膜的产品，做4层膜后膜裂的很厉害，有没有能给分析下的，谢谢了。加温70度，加不加离子源都裂。
dinghaiyi
发表于 2010-12-28 16:52:59
PMMA热涨冷缩造成的。降低沉积速率，中间停顿几分钟，不连续蒸镀，便于散热。
z1206l
发表于 2010-12-28 20:59:12
用的什么膜料？
legendlyy
发表于 2010-12-29 08:45:04
不可加温！！！
stevenwu
发表于 2010-12-29 09:09:32
成都奥晶做得很好的，可以向他们请教试试。
martin1980
发表于 2010-12-29 09:24:19
用的是TIO2和SIO2材料，谢谢了。
jasmine131415
发表于 2010-12-29 12:24:26
好多镀膜的呀！！ 镀膜晶振片你们应该用得到的吧？？{:6_140:}
marcsle
发表于 2010-12-29 15:04:37
应力太大了，速率降低
jindebo1981
发表于 2010-12-31 20:29:10
基底烘烤50度1小时，退火处理，然后蒸镀不加温，试试。
sky4198
发表于 2011-1-2 14:43:08
真空度多少？
john03062003
发表于 2011-1-4 13:47:56
是镀膜完成之后环测之前就发现的膜裂还是环测结束之后发现的膜裂？产品什么形状？曲率如何？我还没有碰到过这种现象，只是附着力有时出现问题！
john03062003
发表于 2011-1-10 08:16:18
真空室外的温度是多少？如果是23+/-5度的话，建议采用冷镀，不需要加热，直接采用离子源辅镀就好了，我觉得这样子就能有所改善。你试试看！