关于铝无法蒸发的问题
如题所说, 镀制铝膜,但是电子枪无法蒸发,怎么办,束流已接近600mA, 是什么原因造成 望高手解答感谢 楼主肯定是用铜坩埚了,这样你能蒸出来就奇怪了。即便楼主没有一点镀膜的常识,难道不能翻一下相关资料看一下 我以前还真用铜的蒸发了的!那是刚买回 机器的时候,现在不知道是不是因为枪老化的原因? 真是佩服楼主呀!难道你就真的连翻一下相关资料都懒得干吗?谁教的你用铜坩埚蒸铝的?拿低蒸发温度的坩埚蒸发高蒸发温度的材料,白痴呀!再说了,铜锅导热散热那么好,你要用多大的功率才能达到铝的蒸发温度呀?即便你硬是达到了,连坩埚也一起蒸了! 600mA,我的个乖乖,你这是在报废设备啊,还用铜坩埚,铜那么好的导热性你还镀Al,你没摸摸那冷却水烫手不 一般用钨丝加热蒸发。具体的你可一到网上查一下。 你可以用石墨坩埚做。不错的你试试。我QQ562631043 楼主就是个白痴加疯子! 我实验室专业从事各种镀膜、曝光、刻蚀研究,可附带从事加工服务。镀膜厚度15纳米~1000纳米,同时可进行膜层厚度测试;其中磁控溅射材料可以为Cr、Ag、Al、Al2O3、ZnO、SiO2、Si、Si3N4,电子束蒸镀可以为Ag、Au、Al、Cr。
刻蚀有RIE和IBE,刻蚀厚度为20纳米~5微米。
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镀铝还是用钨丝比较好
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