Moonish_潇
发表于 2011-3-11 09:31:03
蓝宝石衬底氮气退火的问题
给蓝宝石衬底进行氮气退火之后，会在衬底片边缘形成一些点滴凝聚状的物质，附着在边缘，跪求大虾问题原因及解决办法！
yingmuxiao
发表于 2011-3-11 09:31:04
可能是氮气退火炉里SiC棒在高温条件下挥发出的物质与Al2O3发生反应生成的，你给蓝宝石衬底退火时弄成密闭的隔掉挥发物，就应该没事了。
Moonish_潇
发表于 2011-3-11 09:35:37
跪求解！！！
Moonish_潇
发表于 2011-3-11 09:35:41
跪求解！！！
Moonish_潇
发表于 2011-3-11 15:00:30
回复 yingmuxiao 的帖子
谢谢楼上，查了下资料，应该是这样的问题
jdx1981
发表于 2011-3-11 15:30:04
学到了{:6_143:}{:6_143:}
金刚铁嘎嘎
发表于 2011-3-22 10:01:36
1111111111111
45°
发表于 2011-3-22 11:32:07
{:6_141:}
mumu4273
发表于 2011-10-31 20:33:02
把那凝聚状物，电子探针测下就清楚了
wxjfdw
发表于 2012-3-10 08:37:09
学习学习{:6_143:}
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