weizhijun5180 发表于 2011-4-7 09:19:30

修改楼主的一些内容,其他差不多。
南光机,用光控镀二氧化锆。现在分两个时间段,详细描述:
(1)之前有一个问题(半个月前),开挡板时,光信号突然下降几格左右,然后缓慢上升开始正常的走值,但最后的值也不准确,只能采用关掉挡板后显示的信号值。比如光信号起始20开挡板后变成14,然后开始往上走。
(2)由于以上问题一直没解决,工作又不能停。每次镀ZrO2层数时,只能不停的开关挡板来及时控制查看信号走势,这是没有办法的办法。到现在问题越来越严重了:开挡板时,比如光信号应是从40开始往上走,现在混乱变化,甚至出现负值。信号没有固定走势,来回变化多端。实在不好判断。
现在凡是镀氧化锆的层数都是这样类似的情况,单独开挡板或者单独电子枪加能量都没问题(和楼主一样现象),镀其他膜料时,比如SiO2开关挡板信号完全正常。问题一直找不到解决的办法,恳请各位经验丰富的高手能提出你们宝贵的经验!谢谢

fql3310 发表于 2012-11-18 13:07:25

你这是光电倍增管坏了吧.

chao_li0622 发表于 2012-11-18 18:35:07

学习

250674670 发表于 2012-11-19 03:11:22

你的光源不在中心,是散射光,引起,要做光源调整,还有上光路叶子板是马达带动的,看看有也没有偏,具体进一步要检查,确定才知道,大概就是这2个问题,仅供参考

lkai1014 发表于 2012-11-19 07:50:01

{:6_143:}不知楼主现在问题解决的怎么样了

xiazg 发表于 2012-11-20 10:50:25

光控不好还有晶控呢    我是生产晶振片的 有需要联系我15068338773   夏志国

LOUYC 发表于 2013-7-23 09:58:07

28楼说的对,调整一下光路和监控片,新机器不会出现这种情况。

ipshjh 发表于 2013-8-6 07:19:28

{:6_143:}{:6_143:}

李昌瑞 发表于 2013-8-18 18:55:23

反正感觉光控挺麻烦的,还是晶控好用,你矫正下光路,
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查看完整版本: 各位师傅,南光机光控有点问题,请帮忙看看,谢谢了!