xiaojiang007
发表于 2011-4-23 16:25:33
关于蒸发最初阶段 速率过大的影响
一直有个困惑 我的是电子枪蒸发，如果在开挡板的时候，蒸发速率过大，走值很快 对于成膜以及性能有什么影响呢 还有如果太慢的话又有什么影响呢新手求解
jionboy
发表于 2011-4-23 19:25:26
慢比快好
终南子
发表于 2011-4-24 18:44:07
要看什么材料，一些材料快一点好，一些材料慢一点好，蒸发快慢对膜层的吸收、填充密度、折射率、内应力等都有影响
宇宙深处
发表于 2011-4-25 17:39:31
一般来说快的沉积速率快，分子动能大，结构致密。折射率高。但有些材料易分解；沉积速率慢氧化充分，
ghtzna
发表于 2011-4-29 17:26:36
预融的问题啦
ghtzna
发表于 2011-4-29 17:26:48
用的什么药？
xiaojiang007
发表于 2011-5-4 21:00:57
zrtisio2 给说说具体情况
keyanfang
发表于 2011-5-11 00:14:21
沉积速率太高，膜层的内应力增大，可能会导致膜层破裂
wlinliu
发表于 2011-5-11 02:11:55
null
速率的改变也会影响材料折射率的
ysc212
发表于 2011-5-11 21:55:03
同意3、4楼的观点
ranguangpu
发表于 2011-6-27 08:55:43
致密镀更好是不是认为不容易脱膜，膜强度也会更好呢？{:6_147:}
starofage
发表于 2011-6-27 09:51:03
不同材料当然要求不一样