勤学好问 发表于 2003-3-25 02:44:00

沉积速率在线测试系统

   大家有谁了解国内哪儿有镀膜沉积速率在线测试系统？好象都是膜厚的在线测量，但没有速率测量机呀。

ababab 发表于 2003-3-25 03:00:00

沉积速率在线测试系统

晶控都可以测沉积速率。如MDC，XTC等。

勤学好问 发表于 2003-3-25 17:50:00

沉积速率在线测试系统

   谢谢楼上的指导。能不能再具体介绍一下这方面的？

hakuto 发表于 2003-11-24 18:48:00

沉积速率在线测试系统

想要关于MAXTEK MDC的控制仪，请与我联系：010-65660071或andyliu@hakuto.cpm.hk
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