膜料的蒸发———讨论各种膜料蒸发现象

hngyc · 发表于 2003-7-19 04:20:00

各位大侠：
你们好！我今天蒸发一氧化硅，电子束打在一氧化硅上，把挡板打开，光学膜厚控制仪，不变化，我的坩埚中的一氧化硅都从坩埚中跳出，没蒸发成我的膜料倒损失了一半。

请问如何蒸发一氧化硅？？？

jet · 发表于 2003-7-19 17:54:00

建议用舟蒸发！

feiyang · 发表于 2003-7-20 05:14:00

枪功率太大，用底功率的舟蒸发！

hngyc · 发表于 2003-7-20 08:05:00

谢谢两位大侠的的指点！

rambo · 发表于 2003-7-20 19:09:00

为什么，舟一般是对付低功率的的镀膜材料的？那镀膜材料的低功率是怎么定义的？

nickzheng · 发表于 2003-12-29 04:43:00

对于高熔点的膜料一般用电子枪蒸发，熔点低的膜料一般用各种材料的舟进行热蒸发。不过热蒸发牢固性比较差。

cryyo · 发表于 2004-2-5 15:22:00

舟蒸发是什么意思？是不是用很宽的低功率电子束加热坩锅，让坩锅加热材料。

我想蒸SiO2,今天用氧化铝坩埚放了些纯SiO2。用电子束加热没一会儿，SiO2还没怎么熔呢，坩埚就裂了。谁用电子束真空镀过SiO2？给介绍介绍经验。多谢了。

Jesus · 发表于 2004-2-5 16:49:00

SiO用电子束蒸发也应该可以的啊，我也蒸过SiO，觉得其熔融性质和Ta,Ti差不多，但枪功率确实低些。
另外，cryyo你的问题请从坩埚材料和坩埚冷却方面着手，我觉得是这方面的原因。

Jesus · 发表于 2004-2-5 20:24:00

哦，弄错了，我蒸的是Si.不是SiO.hoho.sorry,sorry

ydtear · 发表于 2004-2-7 00:50:00

多半是試料皿沒有清潔干淨

yh15430 · 发表于 2004-2-7 05:55:00

舟的材料不对，所以不好蒸。

chz3210 · 发表于 2004-3-26 17:52:00

我们蒸发ＳＩＯ２一般也都是用电子枪，我想你会不会镀的时候光斑打到坩锅上了，

再不然就是你的坩锅跟水冷系统接触不好，