李伟华 发表于 2003-7-30 00:01:00

膜厚控制

谢谢你，portia.

李伟华 发表于 2003-7-30 00:43:00

膜厚控制

ic5: 是有镀合金的，是金和铬。

晶片pattern（模式）是什么意思呢（看图）

ic5 发表于 2003-7-30 16:22:00

膜厚控制

上图表示的是镀层的样式：1图——全镀式   2图——单锚式   3图——双锚式

cotou 发表于 2003-7-30 18:42:00

膜厚控制

下面引用由Portia在 2003/07/29 09:44am 发表的内容：
别客气，我也了解不多。
李伟华的想法不错！
但我对晶控片的市场也不了解，ic5等使用镀膜机的大侠应该了解得更多一些。
只是国内晶控片的“声誉”不太好，对膜质量要求较高的用户可能都不会考虑国产的。我见过几 ...


聊一聊我知道的~~晶控片

以 Inficon 使用的晶控片為例，要求的是振動頻率，就對應到一個特定的厚度
薄了 ，厚了，都不行，
當然其它，像是粗糙度，水平度，等都要控制的很好
要達到這樣的工藝水平並不容易

再來是鍍金，當作電极，這可能都較容易克服。

以國外的晶控片，價格都差不多，在國內製作的話
可能要評估製程中那個程序可以省下經費，
否則很可能作出較國外還貴的晶控片

我很久沒摸鍍膜機了，資料可能有些過時，請見諒

李伟华 发表于 2003-7-30 19:53:00

膜厚控制

3Q ic5的解答。
这三者有什么不同吗？

李伟华 发表于 2003-7-30 19:54:00

膜厚控制

下面引用由李伟华在 2003/07/30 11:53am 发表的内容：
3Q ic5的解答。
这三者有什么不同吗？

李伟华 发表于 2003-7-30 20:01:00

膜厚控制

谢谢 COUTOU！
我的看法：
晶控片是石英晶片加工而成的，石英晶片的厚度与其频率存在线性关系。
我看了INFICON晶控片的说明，它在加工中使用了PLANO-CONVEX技术，也就是说晶片一面是平面，一面是凸面。凸度R150-300。这有一定的加工难度。
请教大家有无高效率的加工方法。

ic5 发表于 2003-7-30 23:09:00

膜厚控制

全镀、单锚、双锚有什么不同？请大侠赐教，是不是仅仅因为触点的不同吗？

小龟 发表于 2003-7-31 17:56:00

膜厚控制

虽然我不是很懂，但也来灌灌！希望得到解答

那只虾 发表于 2003-8-3 08:36:00

膜厚控制

下面引用由李伟华在 2003/07/29 04:43pm 发表的内容：
ic5: 是有镀合金的，是金和铬。
晶片pattern（模式）是什么意思呢（看图）


蒸镀模式：全连接、单连接,双连接

ic5 发表于 2003-8-3 18:58:00

膜厚控制

那只虾：这三者有什么不同吗？使用种有什么不同的要求吗？

feiyang 发表于 2003-8-4 05:58:00

膜厚控制

国内好象有一家做晶片的，质量还行吧？我们曾经用过
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