lczhy00001
发表于 2004-7-23 00:06:00
<DIV class=quote><B>以下是引用<I>zz</I>在2004-7-16 8:09:38的发言:</B>
对啥?那啥是手工清洗不掉的??</DIV>
<P>手工什么都清洗的掉,不过表面就完了.</P>
lczhy00001
发表于 2005-7-8 19:13:00
brucelee80
发表于 2005-8-19 04:13:00
有可能是溅射时候的功率过高造成的,也可能是靶材中毒造成的。可适当改变制程参数,另外跟清洁度很重要。