xieyoujie
发表于 2010-6-7 01:10:18
电子枪不好镀容易有溅点，用阻蒸。
526951749
发表于 2010-6-8 09:41:15
电子枪蒸镀，用铜坩埚应该就没问题，通气体保护也要保持高真空，真空度低了膜质量肯定不行。至于为什么要高真空，建议你去看看书，三眼两语理解不透。磁控溅射通Ar气主要作用不是用来做保护，是用来产生等离子体的
z1206l
发表于 2010-6-29 19:32:20
用途不一样，真空度也不一样啊
sunmang
发表于 2010-10-22 09:00:45
防止金属氧化
xiazg
发表于 2010-10-22 09:33:54
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