likeoe 发表于 2003-8-25 18:03:00

[讨论]膜料受潮对膜层的影响

是不是做Al2O3材料?从我们经验,Al2O3材料出现这种问题最明显。

风寒雪月缺 发表于 2003-8-26 16:53:00

[讨论]膜料受潮对膜层的影响

AL2O3为什么会出现这种现象,我用的确实有这种料,但以前从没有过这种问题。

尤里卡 发表于 2003-8-26 18:25:00

[讨论]膜料受潮对膜层的影响

likeoe 兄能否具体说一下Al2O3出现的问题及如何解决的?
我认为一般的氧化物膜料都有一定的抗潮性,一般是不会受潮的,至于混合膜料是否容易受潮要分情况看待,有些可能会受潮。但花斑的产生是否与膜料受潮有关还很难下定论。

尤里卡 发表于 2003-8-26 18:32:00

[讨论]膜料受潮对膜层的影响

把认为受潮的膜料放到烘箱里烘他个二、三百度四、五小时,密封保存,那就不用再考虑膜料受潮了吧!实在不行一周烘一次膜料,总不至于膜料赶上硅胶吸水快了,如果还认为吸水严重,那样就把膜料当干燥剂用吧!

likeoe 发表于 2003-8-26 21:57:00

[讨论]膜料受潮对膜层的影响

我认为Al2O3的熔点比较高,在蒸发过程中,其致密性可能比较差(主观判断,没有数据证实,但从白片上镀Al2O3时,光学走格中,其读数不变或倒走现象时有发生,这就是旁证),待基片取出后,可能吸水现象比较明显,花斑比较明显,但放置几天后,可能是由于扩散的原因,花斑在一定程度上减弱,但不能完全消除。解决办法也没有找到彻底的方案,从提高沉积速率,提高致密度上考虑,可能会有所帮助,要是谁能解决了,不妨交流一下。

尤里卡 发表于 2003-8-27 01:20:00

[讨论]膜料受潮对膜层的影响

“从白片上镀Al2O3时,光学走格中,其读数不变或倒走现象时有发生,”用此现象来说明Al2O3的致密性不好,理由不充分。

虚心请教 发表于 2003-8-30 06:22:00

[讨论]膜料受潮对膜层的影响

膜料受潮放气大,膜片散射较严重。

ofeiying 发表于 2003-9-7 19:36:00

[讨论]膜料受潮对膜层的影响

我认为还是镀完后吸潮引起的,镀膜时真空室内的高温足可以使水蒸发,又怎么会附着到零件表面呢!?

wql771201 发表于 2003-10-1 18:03:00

[讨论]膜料受潮对膜层的影响

AL2O3属两性氧化物,化学稳定性差,也易受潮。我这边就发生镀膜完品受潮后腐蚀。

hakuto 发表于 2003-11-13 20:12:00

[讨论]膜料受潮对膜层的影响

我处有日本进口防潮箱,可解决膜料及成品的受潮问题。如需详细资料,可致电:010-6566-0071或发e-mail:andyliu@hakuto.com.hk 刘先生
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