yeye 发表于 2003-9-21 21:58:00

[求助]一氧化硅的均匀性？

蒸发sio稳定性不好，夹具上下层有时上面颜色深，有时下层深，膜厚仪走的挺一致的。
另sio可以用电子枪吗？请各位前辈不吝赐教！
谢谢了！

kuan 发表于 2003-9-23 20:02:00

[求助]一氧化硅的均匀性？

1.有色差 可用修正板輔助
2.在真空度差的狀況下工作 或許均勻性匯好點
3.sio 應該不行用電子槍
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