enson 发表于 2003-12-5 03:26:00

求助：tio2蒸著速度慢有什么解决方法？

请教各位大虾： tio2蒸著速度慢有什么解决方法？

zhuhhui 发表于 2003-12-5 06:29:00

求助：tio2蒸著速度慢有什么解决方法？

说的具体些可以吗？

caojianning 发表于 2003-12-6 18:12:00

求助：tio2蒸著速度慢有什么解决方法？

电子枪功率是不是被设置了上限而加不上去？

sofa88888 发表于 2003-12-6 18:27:00

求助：tio2蒸著速度慢有什么解决方法？

同意楼上的说法

enson 发表于 2003-12-7 07:16:00

求助：tio2蒸著速度慢有什么解决方法？

电子枪功率应该不是被设置了上限
不过电子枪的电流加了很多，蒸著的速度不会有太多的变化
请问tio2的蒸著速度一般是多少？

小雪 发表于 2003-12-7 09:10:00

求助：tio2蒸著速度慢有什么解决方法？

可以调整电子枪光斑的大小,也可以把高压调高一点,其实镀tio2的时候可以把扫描关掉,光斑大小的调整可以调枪灯丝的位置.

kent90 发表于 2003-12-10 05:56:00

求助：tio2蒸著速度慢有什么解决方法？

你的真空系统性能怎样？

enson 发表于 2003-12-10 06:05:00

求助：tio2蒸著速度慢有什么解决方法？

3*10^-3Pa

ababab 发表于 2003-12-13 19:09:00

求助：tio2蒸著速度慢有什么解决方法？

那应该是电子枪灯丝位置不好导致枪功率不够大，顶楼的最近有没有换过灯丝或对电子枪动过。

enson 发表于 2003-12-14 06:57:00

求助：tio2蒸著速度慢有什么解决方法？

回abab：灯丝是2天换一次的，请问灯丝的位置不是固定的吗？
回ahcg：没有用离子源，有没有其它解决方法？跟充氧量有关吗？

sharmoon 发表于 2005-4-6 01:04:00

<B>求助：tio2蒸著速度慢有什么解决方法？</B>
回abab：灯丝是2天换一次的，请问灯丝的位置不是固定的吗？回ahcg：没有用离子源，有没有其它解决方法？跟充氧量有关吗？

67866110 发表于 2005-4-6 11:13:00

回ahcg：没有用离子源，有没有其它解决方法？跟充氧量有关吗？



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没有用离子原源，有办法解决，跟充氧量有一定的关系。没有离子源解决办法，楼上几位都说到了，加大电子枪电流。调整充氧量，还有你查查你的膜厚临控系统看看是否存在问题。
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