yh15430 发表于 2004-2-18 03:44:00

关于测试薄膜光学常数的一个关键问题

若有测量反射率装置不如测量反射率来的简洁,至于光吸收可用避免之。

michaelzhj 发表于 2004-2-18 05:35:00

关于测试薄膜光学常数的一个关键问题

透射率不应该只是二者量的加和吧。

jet 发表于 2004-2-18 17:00:00

关于测试薄膜光学常数的一个关键问题

SI片的透射范围为1-9um,而用它来作8-11.5um,得考虑晶片本身的吸收。在做模拟计算时,晶片和镀膜材料的折射率和消光系数都要考虑在内。你镀的是什么材料?若愿意提供更详细的数据,我可以邦你算一算。

michaelzhj 发表于 2004-2-18 17:06:00

关于测试薄膜光学常数的一个关键问题

谢谢jet的大力支持,我深表感动。
我镀的是的AlN薄膜
所谓的模拟计算,具体指什么

chugqchugq 发表于 2004-2-18 22:49:00

关于测试薄膜光学常数的一个关键问题

硅片在8-12um可以不抛光测,和抛光测透过没区别,原因是散射和波长的4次方分之一成正比,红外波长很长,散射极小。硅片在此波段吸收较大,且和波长有关,用透射法得不出折射率。建议用测反射的办法。

michaelzhj 发表于 2004-2-18 23:34:00

关于测试薄膜光学常数的一个关键问题

这位长春的朋友,只有极微小异质体(异质体线度比入射光波长小很多)产生的散射,其散射强度才是与入射光的波长有关的,即散射强度与光波波长的四次方成反比,这就是瑞利散射定律。但这是Si片,应该说散射不是那么大吧,我还在继续考证。

shrek 发表于 2004-2-19 00:02:00

关于测试薄膜光学常数的一个关键问题

略表拙见:
对于背面未抛光的Si片来说,散射损失可能较大,能否采用楼上所指点的差动方式来测量反射率,进而表征薄膜的光学特性呢?

michaelzhj 发表于 2004-2-19 00:37:00

关于测试薄膜光学常数的一个关键问题

差动方式?如何差动

michaelzhj 发表于 2004-2-20 00:23:00

关于测试薄膜光学常数的一个关键问题

大家帮帮我啊 :em16:

chugqchugq 发表于 2004-2-20 22:35:00

关于测试薄膜光学常数的一个关键问题

我在做Ge和ZnSe片增透时,为节省时间,有时在未抛光的基片做实验,测量时和抛光的相差很小。

michaelzhj 发表于 2004-2-22 22:20:00

关于测试薄膜光学常数的一个关键问题

我找到了一家双面抛光的Si片生产商
021-57843676
找顾先生
信誉很好

shrek 发表于 2004-2-24 18:30:00

关于测试薄膜光学常数的一个关键问题

差动,即先测量基底的反射率,再测量一下基底和薄膜总的反射率,利用这两者的差值来实现对基底的表征,这样也许可以略去背面没抛光的影响。
如还没找到更好的办法,可以试一下
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