妙妙光子 发表于 2003-10-12 02:30:00

???

有谁了解准分子激光器请指点.

mykosovo 发表于 2003-10-12 05:11:00

???

不是很清楚，是不是气体激光器的一种啊？ 波长比较短。有的光刻机上用的光源就是准分子激光器。？？
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