可消除气流干扰的动态干涉仪
4D公司成立于2002年，主要致力于为航天、天文、光学制造、半导体及数据存储等领域开发高精度的检测仪器。该公司的动态相移测量专利技术改变了传统光学干涉仪器对使用环境的苛刻要求，大大拓宽了仪器的应用范围。正是因为4D公司在这一领域的技术革新和杰出成就，使其获得了多项荣誉，包括自2004年连续三届夺得R&D100奖。目前，4D公司拥有一支在激光干涉测量、光学仪器、软件开发、质量控制、技术支持方面的专业化团队。其优质的产品和服务赢得了许多世界一流企业客户的信赖和认可。动态粗糙度仪 NanoCam
描述
对振动不敏感的动态表面轮廓仪
测量模式
瞬时相移
光源
LED(460nm)
条纹对比度
连续可调(反射率1% - 100% )
相机
1.2K X 1.2K像素, 12位
控制功能
光束比，视场光阑，孔径光阑
软件
4Sight波前分析软件 (含用户手册)
瞬时相移数据采集
合成参考面，数据相减、数据平均
2D轮廓及3D 面形图
ISO 25178 表面粗糙度参数
HDF5 标准数据格式,及对其它数据格式的支持
尺寸
< 24 x 24 x 8 cm
重量
< 4.6 kg (10.0 lbs)
功耗
< 45 W
温度范围
工作：60–80° F, 无凝结
储存
30–100° F,无凝结
附件
物镜
干涉仪用物镜
安装
三脚架式（由操纵杆控制）；楔合式安装；雄克式卡装
校准镜
直径1in， 精抛面
线缆
10 m，30m
系统性能
采样率
最大采样速率 > 14 f/s
最小曝光时间
< 100 us
样品反射率
1% 到100%
垂直变化范围
最大跃变115 nm
RMS 重复性1
< 0.005 nm
RMS 精度2
< 0.1 nm
长工作距物镜
放大倍率
2.5X 5X 10X 20X
数值孔径
0.08 0.15 0.30 0.45
工作距离(mm)
9.5 23.5 17.3 4.5
460 nm处的分辨率(μm)
3 3.1 1.5 0.8 0.5
空间采样(μm)
4 3.0 1.5 0.7 0.4
视场角(mm)
3.6 1.8 0.9 0.4
详情请参考http://opturn.blog.sohu.com/entry/5427410/
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