yang1268 发表于 2011-7-8 23:22:17

Roth&Rau公司线性ECR离子源

      Roth&Rau（以下简称RR）公司成立于1990年，为德国上市公司，规模超过1000人，年产值近3亿欧元。 RR MiroSystem分公司是RR总公司的技术基础，有近80人，专注于等离子体和离子束技术，每年的研发投入超过100万欧元。其产品包括离子源，等离子体源，RIE, PECVD, 离子束溅射镀膜机（IBS），磁控溅射镀膜机（MS），离子束铣(IM), 离子束抛光机（IBF）等。其产品可应用于高反射膜、低损耗薄膜、DLC薄膜、光栅刻蚀以及非球面加工等方面。

类型               400-f                                 600-f
离子源尺寸      400 mm x 120 mm            600 mm x 120 mm
接口            特种法兰               特种法兰
冷却            水冷                     水冷
离子束流          500mA                              75mA
离子束能量      2000eV                                 2000eV


线性离子源可制定大小，最大可以达到2000mm x 120 mm

详情请参考技术博客 http://opturn.blog.sohu.com/entry/8463781/
以及公司网站 http://www.opturn.com/productsplist.asp?pid=97


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yang1268 发表于 2011-7-8 23:22:29

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