vietti 发表于 2004-4-1 07:31:00

[求助]关于氧气压强的控制

<P>不太懂这一行，问两个粗浅问题：</P>
<P>1.一般通氧气是通过压强控制仪来控制，压强控制仪上的控制压强应该是指阀口附近的压强吧</P>
<P>而测真空室的真空度的电离计好像是在真空室外分子泵附近吧，</P>
<P>二者的压强值肯定不一样。控制氧气比如2×10－2Pa应该以后者读数为准，对吗？</P>
<P>2.如果加上个离子源，先通2×10－2Pa的氩气，要保持2×10－2Pa的氧气含量，通氧气后</P>
<P>真空度应该为4×10－2Pa，对吗？</P>

zz 发表于 2004-4-1 16:20:00

<P>一般O2是流量计</P><P>先弄清是恒压还还恒流系统</P>

vietti 发表于 2004-4-1 18:09:00

Ar气是流量计，氧气是压强控制

zz 发表于 2004-4-2 05:20:00

<P>不同区域的压强肯定不一样了。</P>

yh15430 发表于 2004-4-2 05:32:00

真空计

不同部位测量，当然真空计的读数也不一样啦！

coatingli 发表于 2004-4-2 16:44:00

是这样的，氩气和氧气一般用流量来控制比较科学

lorniale 发表于 2004-4-3 23:52:00

<P>我们以什么根据来判断我所用的流量是合适的呢？</P><P>还有我觉得我的机子上只有一个流量计的啊，那应该是不可以既通氧气又通氩气的了。</P>

zz 发表于 2004-4-4 05:21:00

弄个转换阀就可以了

royyang 发表于 2012-6-25 09:33:49

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