fulong927 发表于 2004-4-3 00:25:00

求助：关于离子源！

<P><FONT face=宋体>1）请问有没有人关注过离子源的污染问题。我用的是end-hall 源，无栅，据说污染回大些。</FONT></P>
<P><FONT face=宋体>2）离子源辅助蒸发时的角度问题？</FONT></P>
<P><FONT face=宋体>多谢各位大虾指教！</FONT></P>
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