vietti 发表于 2004-4-8 18:33:00

[求助]Al2O3速率变化太大

<P>Al2O3的速率十分不稳，变化太大。</P>
<P>一般这种情况是预熔得不好或者还有其他的问题？</P>
<P>该如何调整呢？</P>
<P>哪位大大请指教一下！</P>

vietti 发表于 2004-4-8 22:05:00

<P>沉积速率</P>

ababab 发表于 2004-4-13 00:42:00

Al2O3确实不是很好镀。对电子枪要求较高。

michaelzhj 发表于 2004-4-8 20:46:00

<b>Al2O3的什么速率变化太大？说清楚点</b>

zz 发表于 2004-4-9 06:22:00

<P>没有预熔好</P>

vietti 发表于 2004-4-12 16:51:00

<P>一般AL2O3预熔的电子枪功率和沉积时的功率相比，哪个大些？</P>

vietti 发表于 2004-4-12 17:47:00

<P>我预熔时功率比沉积时小些。</P><P>但有时挡板都被高温熏黑了，预熔时温度有这么高吗？</P><P>还是我预熔的功率太大了？</P>

zz 发表于 2004-4-12 18:41:00

难道它的熔点比TA2O5还高吗?

cjyzq 发表于 2004-4-13 07:01:00

Al2O3蒸镀：－看预熔、二要调整好电子枪的光斑大小。

xfx9721 发表于 2004-4-13 17:12:00

sauke 发表于 2004-4-14 17:47:00

你可先确定蒸镀时最后稳定下来的功率，SOAK PW1 可略高于这个功率，SOAK PW2 略低于这个功率。这样有利于在蒸镀时的功率稳定。

yzhuang 发表于 2004-4-29 03:20:00

<P>预熔时功率可稍大些，要让表面全部熔化，蒸镀时让光斑大一点，并且一定要熔开后才打开挡板！</P>
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