独孤求败 发表于 2004-4-30 21:17:00

求教硅片抛光

各位大虾,小弟最近在抛硅片时发现,光洁度很难抛,不知大家有什么高见,谢谢!

刘建 发表于 2004-4-30 21:31:00

抛光模易腐蚀，要勤修。

独孤求败 发表于 2004-5-1 00:42:00

<P>抛光模易腐蚀，要勤修。是什么意思?</P><P>我个人认为与抛光辅料有关系,但不知用那种好?请指教!!!!</P>

刘建 发表于 2004-5-17 21:13:00

<P>因为硅片抛光剂腐蚀性极强，抛光模多做一些吧，要几小时换一个。</P><P>问题不在于抛光剂。</P>

jackonlee 发表于 2004-5-19 05:52:00

原来如此

wwlaser 发表于 2004-8-2 21:03:00

硅片抛光应是很成熟的工艺选好抛光磨料.

colman91155 发表于 2004-8-2 22:58:00

<P>用抛光布吗？</P>

lczhy00001 发表于 2004-8-3 00:30:00

<b>硅片抛光用化学抛光液,速度和效果不错,但氧化性太强.</b>

xin396 发表于 2004-8-6 01:02:00

<P>呵呵。用化学抛光液，浸在里面抛。</P>

lczhy00001 发表于 2004-8-6 01:19:00

<DIV class=quote><B>以下是引用<I>xin396</I>在2004-8-5 17:02:59的发言：</B>

<P>呵呵。用化学抛光液，浸在里面抛。</P></DIV>
<P>机械化学抛光法!</P>

BaiHC 发表于 2004-8-6 07:07:00

<P>硅片抛光应该是很平常的事，如果需要的话与我联系。</P>

52wuj 发表于 2004-12-16 17:29:00

你的光洁度是多少的啊？镜片直径有多大啊？晕哦~~~~~~~~~~~都没说清楚啊！0级的我不知道怎么抛！20-10的知道！10-5的合格率不高
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