material 发表于 2004-5-4 19:13:00

鍍膜過程中白點形成原因

<P>大哥大姐好…</P>
<P>最近在鍍膜過程中，常常鍍膜完, 分光OK,但外觀會有白點產生，請問 白點產生原因…，可否有徹底解決之道…(使用TA2O5IAD與SIO2搭配…)。</P>


lwh 发表于 2004-5-4 19:29:00

應該是chamber內太髒了，多清潔幾次就可以啦。

material 发表于 2004-5-4 20:28:00

小清後，還是會有白點問題…應該不是chamber太髒造成…還有沒有其他形成原因。

zwl 发表于 2004-5-4 22:32:00

<P>清洗不够干净！</P><P>镜面还有碱性溶液残留！</P>

material 发表于 2004-5-5 05:04:00

白點並非基板清洗不夠乾淨，好像鍍膜過程中噴藥造成ㄉ，可是蒸度速率還蠻穩ㄉ，是使用水晶監控。

material 发表于 2004-5-5 05:13:00

<P>白點有的刮的掉，有ㄉ括不掉，應該是鍍膜過程製程ㄉ。</P>
<P>chamber不管（大、小清），所有全部東西，大部分都會經噴砂，且四周都會貼鋁箔。故可確保chamber是乾淨ㄉ。</P>

对与错 发表于 2004-5-5 23:06:00

是镀 的多层的吧，药可能有杂物掉进去了

对与错 发表于 2004-5-5 23:07:00

最好安装离子枪好的多

yin99 发表于 2004-5-5 23:52:00

material 发表于 2004-5-6 18:25:00

<P>1。基底清洗不好…所有鏡片都確認a級品，雙檢才上鍋，</P>
<P>2。真空室里不干净、…那更不可能，才剛做完年保養，並確保chamber是無污染ㄉ</P>
<P>3。膜料没有预先熔好…每一顆都是okㄉ，而且鍍膜之前再預融一次。</P>
<P>4。电子枪功率不稳定…查過了…功率蠻穩定ㄉ。</P>
<P>還有沒有其他特殊解決之道…</P>

sanma 发表于 2004-5-7 03:32:00

不知是镀几层的，就镀两三层先看看会不会

zheng 发表于 2004-5-7 05:56:00

<P>ying99提的你都没问题的话,就查一下以下5点:</P><P>1.锡箔纸(铝箔)------一般锡箔纸有两面,一面很亮,另一面表面有一层膜,亮的一面应在里面,不亮的一面在外面,不亮的那面要用百洁布(思高牌,其余的杂牌不行)沾擦玻璃的药剂把那层膜擦掉后才能使用.</P><P>2.用温度计测定一下玻璃处的实际温度,一般应该是260~280.</P><P>3.确认一下镀sio2的坩埚边缘是否有厚厚的一层白色的东西,若有就彻底的清扫.</P><P>4.确认回转是否有与其他地方相碰或摩擦,</P><P>5.确认你回转的滚珠清扫时用了什么,(只需用擦玻璃的药水泡一下,取出,喷一点润滑剂就OK了,千万不能用防锈剂.</P>
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