biomems 发表于 2004-5-10 01:17:00

如何检测ITO导电膜刻蚀出的图案?

请问如果利用ITO玻璃上的ITO导电膜刻蚀微电极,通过什么方法检测腐蚀后图案的好坏?谢谢

coatingli 发表于 2004-5-10 01:38:00

<P>用显微镜看啊</P>

biomems 发表于 2004-5-10 21:34:00

但是ITO膜是透明的,如何分辨啊?

coatingli 发表于 2004-5-10 21:36:00

<P>可以的,我们就是这么做的</P>

biomems 发表于 2004-5-11 19:14:00

好的,我试试看。谢谢!
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