yuvia_ye 发表于 2011-7-19 11:01:22

新手求教：镀Si问题

如题：目前有意向开发镀Si膜料
方式：电子枪蒸镀、石墨坩埚

对镀Si没有经验，望各位大侠指点。

http://bbs.oecr.com/xwb/images/bgimg/icon_logo.png 该贴已经同步到 yuvia_ye的微博

xiao2011 发表于 2011-7-19 21:18:55

{:6_143:}

E501559 发表于 2011-7-20 11:26:17

二氧化硅---电子枪蒸镀
一氧化硅---电阻蒸镀
问题具体一点，我尽量为你解答！

yuvia_ye 发表于 2011-7-20 13:15:27

E501559 发表于 2011-7-20 11:26 static/image/common/back.gif
二氧化硅---电子枪蒸镀
一氧化硅---电阻蒸镀
问题具体一点，我尽量为你解答！

是单晶硅，我们准备是用石墨坩埚镀，颗粒状的

E501559 发表于 2011-7-20 13:26:45

yuvia_ye 发表于 2011-7-20 13:15 static/image/common/back.gif
是单晶硅，我们准备是用石墨坩埚镀，颗粒状的

是的，我们用的也是单晶硅，晶体颗粒状
用电子枪蒸镀蛮好的，我们用的是无氧铜坩埚美国TELEMARK电子枪
之前用过石墨的坩埚衬套，也可以的，没问题

可保持联系！

yuvia_ye 发表于 2011-7-20 13:57:07

镀制过程有没特殊要求啊？
会不会喷溅很厉害

yuvia_ye 发表于 2011-7-20 13:59:47

E501559 发表于 2011-7-20 13:26 static/image/common/back.gif
是的，我们用的也是单晶硅，晶体颗粒状
用电子枪蒸镀蛮好的，我们用的是无氧铜坩埚美国TELEMARK电子枪 ...

yuvia_ye@126.com
有空多联系哈

HGcoating 发表于 2011-7-20 14:37:45



请问
是的，我们用的也是单晶硅，晶体颗粒状
用电子枪蒸镀蛮好的，我们用的是无氧铜坩埚美国TELEMARK电子枪
之前用过石墨的坩埚衬套，也可以的，没问题

可保持联系！
你的TELEMARK电子枪好用吗，镀SI光斑如何？我的光斑很大无法聚焦。

E501559 发表于 2011-7-20 14:39:39

yuvia_ye 发表于 2011-7-20 13:57 static/image/common/back.gif
镀制过程有没特殊要求啊？
会不会喷溅很厉害

镀膜过程中二氧化硅很稳定的，不想其他的膜料，比如说二氧化钛，如果膜料没融好的话，容易喷溅，而硅不同，不需要融膜料

HGcoating 发表于 2011-7-20 14:39:51

关于PROVAC真空镀膜机的贴子有镀SI时照片。谁能看看电子枪是否次品

yuvia_ye 发表于 2011-7-20 15:00:20

E501559 发表于 2011-7-20 14:39 static/image/common/back.gif
镀膜过程中二氧化硅很稳定的，不想其他的膜料，比如说二氧化钛，如果膜料没融好的话，容易喷溅，而硅不同 ...

有点不大懂，我们镀制二氧化硅也没问题啊，那已经成熟了
现在目前主要是要开发镀制单晶硅膜料，单晶硅也不需要熔料吗？

E501559 发表于 2011-7-21 10:39:32

yuvia_ye 发表于 2011-7-20 15:00 static/image/common/back.gif
有点不大懂，我们镀制二氧化硅也没问题啊，那已经成熟了
现在目前主要是要开发镀制单晶硅膜料，单晶硅也 ...

单晶硅是新型靶材吧，呈灰色的晶体颗粒，你们镀出来的产品是用在太阳能上吗？
我们还没有开发镀单晶硅，多多交流！相互学习！
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