E501559 发表于 2011-9-1 09:37:27

Mark 2离子源温度问题

            如题, MARK 2 离子源没有水冷
我现在遇到的问题就是,在镀膜时,从开始到结束,一直都用离子源,所以在镀膜过程中因为真空室温度高,要停好几次,后来,检查后,发现,温度高的原因来自离子源发热严重
            请大家帮忙研究一下,离子源发热跟那些因素有关系!不胜感激!

地平线 发表于 2011-9-1 13:45:15

没有水冷温度自然会升高的,不知道你镀的是什么产品,我用的也是MARK2离子源,镀的朔胶片,真空室温度一般都不会超过100度,没有什么影响啊。

xiao2011 发表于 2011-9-1 16:39:44

离子源有没有通冷却水?

E501559 发表于 2011-9-1 17:04:44

地平线 发表于 2011-9-1 13:45 static/image/common/back.gif
没有水冷温度自然会升高的,不知道你镀的是什么产品,我用的也是MARK2离子源,镀的朔胶片,真空室温度一般都 ...

你们的Mark 2 有水冷吗?
我们镀的也是塑胶件啊,但是温度较之前对比的话,有很大的变动,就是不知是什么对其有这么大的影响。

E501559 发表于 2011-9-1 17:06:17

xiao2011 发表于 2011-9-1 16:39 static/image/common/back.gif
离子源有没有通冷却水?

没有水冷系统,因为之前没有这样的状况啊,所以才问是什么原因啊

xiao2011 发表于 2011-9-2 20:26:12

E501559 发表于 2011-9-1 17:06 static/image/common/back.gif
没有水冷系统,因为之前没有这样的状况啊,所以才问是什么原因啊

是不是用的膜料和以前的不一样,

valle 发表于 2013-8-23 16:23:34

在穩定ANODE A-DC 的狀態下,GAS FLOW數值突然增加到較大,在辦小時內提升了80%,會是什麽原因?

clark007 发表于 2013-8-27 07:54:04

阳极电流恒定的话,气流是会变动的。个人经验:这个气流变化和背景真空度有关,比如刚开始膜料放气大的话,离子源气流也会比较低。仅供参考

Ion.source 发表于 2013-11-18 21:13:42

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cikelong2000 发表于 2013-11-27 22:36:00

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crl0129 发表于 2013-11-28 15:31:12

学习一下
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