royyang
发表于 2012-6-1 23:49:02
学习
gxfdllg
发表于 2012-6-3 17:49:43
没有关系的啦，密度就是跟控制仪显示的厚度有关系啦，相差不要太大就可以了！{:6_140:}
qs2784
发表于 2012-6-21 21:33:32
{:6_143:}
MorningTech
发表于 2016-5-17 20:31:48
楼主细心。的确存在 360和 310及Inficon系的 SiO2密度和声阻抗参数略不同。
后两者可能采用的是 晶体参数，比膜层中略大。从此来说，推荐用360参数。
但是，晶控仪中的Tooling 参数可以修正密度偏差。所以，用哪个密度值，对晶控仪来说都问题不大。
yifeng602
发表于 2017-4-8 22:32:42
楼主都不说明什么类容 估计没人买
如果只是说明书 之类的话 百度文库都有很多