薄膜应力影响膜层牢固度讨论
各位大哥们,向你们请教一下薄膜应力的问题。我知道应力分为两种,一种是内应力,是有膜本身结构造成;另一种是热应力,是基板冷却后薄膜与基板收缩程度不同而产生的。问题如下:1.影响内应力的因素蒸发速度是主要的因素吗,还有其他可以控制的吗
2.影响热应力的因素是镀膜完成到放气的间隔时间吗,还有其他可以控制的因素呢
谢谢大家的回帖! {:6_143:}学习 学习 {:6_143:} 你说得都不全面 jiayuch 发表于 2011-11-15 11:41 static/image/common/back.gif
你说得都不全面
恩,我也知道不全面,你知道的话能讲讲吗,谢谢了
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