fql3310
发表于 2011-10-25 13:27:47
哦，顺便说一下，镀TI的氧化物膜层本身是白朦朦的。只有VEECO机才能消除这个缺点。如果是AR膜的话不明显。膜层多的话很明显。你自已看一下。
huang12949
发表于 2011-10-27 11:26:18
楼上的兄台，我取消了TIO2，使用ZNS是一样的，改用ZRO2也是一样
魅力薄膜
发表于 2012-8-24 02:27:24
这么古老的问题 不知道结局是什么样子的。应该是SIO2不能充氧吧
fql3310
发表于 2012-8-27 00:25:08
SIO2充氧与不充氧膜层结构都是一样的，楼主用的不可能是进口离子源。
ghtzna
发表于 2013-1-26 17:29:41
是不是温度高了 还有就是哈气检验基板是否有白色雾状东西 你可以不清洗试试
chugqchugq
发表于 2013-1-28 22:54:59
不能用ZNS
小技工
发表于 2013-1-29 14:38:04
电子枪温度上升，造成基板（胶底）熔接