jionboy 发表于 2012-1-16 12:44:01

光斑固定，速率大小决定功率大小，Tooling决定实际厚度

E501559 发表于 2012-1-16 16:31:12

jionboy 发表于 2012-1-16 12:44 static/image/common/back.gif
光斑固定，速率大小决定功率大小，Tooling决定实际厚度

蒸发舟使用的次数不一样，影响功率的大小，但是不影响速率，试问可不可以单独控制功率，因为功率影响温度，所以我想功率相对小点，镀膜温度就低一点。

wallymoon 发表于 2012-1-20 14:40:10

{:6_149:}虽然没看到啥，但是还是很不错

心静 发表于 2012-4-10 12:36:54

{:6_143:}{:6_143:}{:6_143:}

gxfdllg 发表于 2012-4-13 08:29:34

{:6_143:}{:6_143:}

idandie 发表于 2012-4-15 21:30:34

路过学习学习，是个好习惯

fucheng01111 发表于 2012-4-22 15:14:33

{:6_143:}{:6_145:}

hackersc 发表于 2012-4-22 15:39:57

想夜的雨 发表于 2012-1-12 21:20 static/image/common/back.gif
因为现在大多数是PID控制，所以功率，与速率有直接正比关系，但是速率还与一个因素有关，就是光斑，直接决定 ...

请教下您，那我tooling值大于100%算是挡板过小，那么tooling值小于100% 算是挡板过大么？
貌似不能直接这么理解吧？
关挡板时机是晶振计算已经达到目标值厚度，然后就发出关挡板的指令，就算这样，也不能是挡板过小造成的tooling值小于100%吧？
难不成是这么理解，关闭挡板时刻，仍然有些膜料在往上面蒸镀，那么这个时候晶振就要采用预算的方式，提前一段时间关闭挡板，那么就可以用预算的时间来解释tooling值，大于或者小于100%，但是还是不能解释挡板的过大吧？

xxywind 发表于 2012-4-22 19:49:45

有详细的解释没？{:4_205:}

貢丸 发表于 2012-12-28 23:57:24

{:6_143:}
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查看完整版本: 镀膜速率、功率、膜厚、Tooling之间的关系？