JangSin 发表于 2011-11-14 07:53:13

大家帮忙分析下是什么问题

设备是韩国的。
粗抽的话没有问题，一般3分钟左右能抽到5.0*10-2 Torr，高阀打开。高阀打开后也能顺利的抽真空，但是抽到5.0*10-5torr时，开始抽不动了，真空表的数值开始上下跳动，不稳定。没有发现有漏气的地方，扩散泵的油是新换的。镀膜室也清扫了。各位帮帮忙，分析下是什么问题。小弟在线等

WENJINGREN 发表于 2011-11-14 14:13:02

还是有漏气的地方

272813953 发表于 2011-11-14 23:35:13

你看看机器泵油是不是少了或镀膜机门的胶圈有没有问题啊

cxm05371 发表于 2011-11-16 13:00:06

有漏气检查密封圈

xiao2011 发表于 2011-11-19 18:36:01

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xiaozhou 发表于 2011-11-24 14:55:35

扩散泵的抽真空能力怎样？可以先看看

Jimmy_tang 发表于 2011-11-24 15:25:46

5.0*10-5torr已经不错了。。。我的机子还抽不到10-4torr量级呢。

xiao2011 发表于 2011-11-24 17:12:09

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