我这边是四秒钟转一转的,我的这个工艺我都很了解.你也要记下你的镀膜机的转速.你用的是光控镀的吧.工转 及光控对片子成膜厚度有关系.如果把光控那边拿出去喷沙的话,镀的话片子应该是镀得变薄了.
快慢会对曲线有影响啊!!只有高低才影响均匀性吧!!!!
fql3310 发表于 2011-11-29 18:38 static/image/common/back.gif
我这边是四秒钟转一转的,我的这个工艺我都很了解.你也要记下你的镀膜机的转速.你用的是光控镀的吧.工转 及 ...
我们用的是晶控，没有光控，谢谢了，我会再去验证的。
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应该不大吧~~~~
除非楼主的电子枪不稳定？应该也不应该，几率分布最终还是均等的~~~
可以告诉你的是，你目前情况下，更换衬板，也会改变TOOLING
工转的速度 ...烘烤慢速镀膜快速
公转主要是对均匀性的影响吧,你想一下,如果公转不转是什么样的结果,
公转速度只对均匀性产生影响，速度越快越均匀。
我现在做的设备，都可以设定公转速度的，
对比较薄的膜层故意成高转速，可以改善均匀性，
而其他比较厚的膜层设成低转速，可以延长电机和轴承寿命。
你的问题，如果只是改了电机，那可能是因为工件的高度改变了。
也可能是因为旋转速度不均匀。
当然，比如说电子枪坩埚位置发生改变，修正板角度发生变化，
漏气等等都会造成TOOLING发生变化
ouyuu 发表于 2012-10-26 21:51 static/image/common/back.gif
公转速度只对均匀性产生影响，速度越快越均匀。
我现在做的设备，都可以设定公转速度的，
对比较薄的膜层 ...
谢谢，问题早已解决了，是挡板的 问题，挡板移位了只是部分挡住蒸发源
超哥，这个问题最后是什么结论啊？
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