sswh 发表于 2004-8-25 07:38:00

ZnS膜层应力

<P>请教个问题</P>
<P>ZnS膜层应力释放出来一般体现为裂痕，有的时候出现一些比较微小的点是不是也是应力的体现。</P>
<P>另外大家见过ZnS分层脱落的情况过没有，PS：3000AZnS脱落400A左右的ZnS，而不是整个厚度的ZnS脱落。</P>
<P>衬底的洁净度不用怀疑，是不是以上问题能用应力解释，希望见过这种情况或者有兴趣的同志讨论一下</P>

zz 发表于 2004-8-25 16:18:00

<P>微小的点有可能是应力的表现。</P><P>分层脱可能是薄膜不一致。</P>

sswh 发表于 2004-8-26 01:15:00

薄膜不一致的话，那就说是工艺条件发生变化？实际上工艺条件是没有发生任何变化的啊，是不是最后还是能归结于应力的体现，表面处的电荷或者价键的变化？

ippsong 发表于 2004-8-26 04:22:00

<P>以前曾經用過ZnS , 不過好像沒遇過像您說的問題....</P><P>不過應力好像應該是類似龜裂的現象....</P><P>還請大家指正...</P>

sswh 发表于 2004-8-26 06:44:00

是的，ZnS的确出现了龟裂的情况，但是为什么会出现分层裂的情况，这个现象从应力方面好象很难解释啊，希望大家能对分层脱落的情况讨论下。
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