swanson 发表于 2012-4-13 20:18:12

膜料问题请教

一。。假设我原来用密度2g/cc   现在用原来的所有参数蒸密度为2.3g/cc的会怎么样？

      膜料里面的那个密度具体有什么作用？

二。。直接升华的膜料 比如SIO2 。。起始时蒸发很稳定。可有时速率会突然增大一下。然后又会平稳。这是什么原因造成的？

   

强子 发表于 2012-4-14 10:08:00

PID需要修正

royyang 发表于 2012-6-13 22:03:43

对头对头

pc030319 发表于 2014-6-18 21:19:34

SiO2速度不稳可能是由于表面不平的原因，我也遇到过，跟束斑和膜料关系较大，当然还有转速，只要波动不太大，不影响膜层性能就行。前面那个就关系到你tooling值之类的设定。

pc030319 发表于 2014-6-18 21:19:35

SiO2速度不稳可能是由于表面不平的原因，我也遇到过，跟束斑和膜料关系较大，当然还有转速，只要波动不太大，不影响膜层性能就行。前面那个就关系到你tooling值之类的设定。
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