ZHE910 发表于 2004-8-26 20:30:00

[讨论]：ITO镀膜问题

ITO镀膜产生的裂膜，白雾，核膜后不均的原因有哪些，请大家讨论讨论

xiaohe 发表于 2004-9-10 23:41:00

这个问题影响的主要因素有水汽和扩散泵的返油造成的，咨询０５５１５３２９１９５何

matta 发表于 2004-9-10 23:58:00

<P>膜裂是由于膜表面应力造成的，降低表面应力的方法有</P><P>1.降低蒸发速率</P><P>2.延长放气时间</P><P>3.降低烘烤温度</P>

colman91155 发表于 2004-9-11 07:57:00

请问有能在ZnSe上镀ITO膜的吗？
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