E501559
发表于 2012-4-27 08:28:54
如果在同一个条件下，建议换另一家的晶振片试一下；
2011059
发表于 2012-9-6 05:36:06
路过学习学习{:6_178:}
fql3310
发表于 2012-9-14 20:51:49
镀薄镀厚在于电子枪灯丝，它受环境影响的表现形式在于高压束流。这种96.4%－104.1%的系数问题是较好调过来的。如果镀膜的要求更高，要学习VEECO机，2*10－4帕的起始真空，充气改用干净气体充气，还有冷扩散泵（零下200度以下）。
funky5043
发表于 2012-10-17 13:38:01
是電子槍蒸鍍? 還是濺鍍?
若是濺鍍, 因為長期使用靶材, 靶材厚度改變造成鍍膜光譜平移微飄也是個因素.
lovemannyzhu
发表于 2012-10-17 22:34:24
段取时间要恒定！
wazxq
发表于 2012-10-24 09:25:25
国产机能作什么样的窄带，半宽多宽的，窄带是敏感膜系，不稳定才是正常的
zhenxing
发表于 2012-10-24 10:14:14
鍍高精度的窄帶膜是需要光學監控的。難以置信樓主靠國產JJK的晶振片來監控（建議使用INFICON).
這是鍍膜最有技術難度的問題，涉及到的因素太多了！只有親臨現場才能找出真因。
李昌瑞
发表于 2012-10-25 19:30:02
dreamwithin 发表于 2012-4-14 11:09 static/image/common/back.gif
设备是成都真空机械厂的，充气装置为压控和流量计两路，冷热水切换没有。无论使用流量计还是压控仪，结果都 ...
成都的南光机重复性的确不太好做,就算操作条件一致,波长偶尔也会发生漂移,它的这个电子枪也不怎么样,控制得不是很稳定.晶振对厚度的控制上,产生的偏差比较大.
相伴/sun天涯
发表于 2012-10-26 13:14:47
{:6_143:}
LOUYC
发表于 2013-7-23 11:29:42
{:6_143:}
crl0129
发表于 2013-12-8 15:18:18
{:6_143:}