良哥 发表于 2012-4-24 15:30:34

南光机离子源与高压的关系

各位膜友，最近小弟镀膜机发生小碍，每当开离子源时高压会产生摆动，电子枪不敢加束流，这是怎么一回事啊？麻烦各位大师解答了。使用的是南光机，霍尔离子源。

缘睐汝痴 发表于 2012-4-24 23:05:42

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tfc 发表于 2012-4-25 07:53:22

哪家的离子源？如果没特别的话，应该是用空间中心的吧？如果这样，要加强电磁屏蔽

zhm1988 发表于 2012-4-25 08:25:29

这个电压应该会慢慢稳定吧，估计投的气体不够稳定

良哥 发表于 2012-4-25 19:29:48

tfc 发表于 2012-4-25 07:53 static/image/common/back.gif
哪家的离子源？如果没特别的话，应该是用空间中心的吧？如果这样，要加强电磁屏蔽

嗯，是中科九章的，如何加强电磁屏蔽啊？加铁板？

良哥 发表于 2012-4-25 19:30:43

zhm1988 发表于 2012-4-25 08:25 static/image/common/back.gif
这个电压应该会慢慢稳定吧，估计投的气体不够稳定

投的气体应该稳定，原先OK来着，现在不好用了。

tfc 发表于 2012-4-26 07:52:44

1.用Ω表摇下电子枪对地电阻，过小要处理，用不锈铁或不锈钢把离子源及电子枪独立围起来，维护罩接地，避免它们之间打火。

skyperfect 发表于 2012-5-18 15:01:26

我也是离子源新装后高压不稳定，束流加大后就高压就跳，用不锈钢板把两个电子枪都围了，离子源也围了，还是不行，接地电阻没办法测，检查了接地线，应该没有问题，真不知怎么找原因了。

tfc 发表于 2012-5-19 08:03:13

你试一试离子源不启动，只充气，再调试电子枪，到蒸发电流，如果都正常，再开离子源电源，慢慢加能量

良哥 发表于 2012-5-19 13:21:08

tfc 发表于 2012-5-19 08:03 static/image/common/back.gif
你试一试离子源不启动，只充气，再调试电子枪，到蒸发电流，如果都正常，再开离子源电源，慢慢加能量

谢谢

wazxq 发表于 2012-5-19 14:04:16

检查绝缘,互相干扰国产机容易出

HGcoating 发表于 2012-5-22 15:58:44

把离子源和电了枪清洗干净换所有绝缘陶瓷
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