zhm1988 发表于 2012-6-15 09:33:40

膜厚分布与补正板修正

如图为从上到下监控片的反射率与波长关系曲线
不知道是不是补正板没修好的原因还是无法根本无法达到重合的效果，左右基本趋于一致了，不偏移
1到6六块监控片的光学曲线无法重合 最高点的坐标从上到下依次增高
这个能否解决？ 可以使6块监控片的光学曲线完全重合

zhm1988 发表于 2012-6-15 09:35:58

欢迎大家讨论

wangxudong1227 发表于 2012-6-15 12:33:48

折射率不均匀导致的·····
请问你是 离子源辅助还是加热机
？

wangxudong1227 发表于 2012-6-15 12:34:34

内圈折射率高，外圈低

zhm1988 发表于 2012-6-15 13:20:29

wangxudong1227 发表于 2012-6-15 12:34 static/image/common/back.gif
内圈折射率高，外圈低

蒸发镀膜 现代南光机器 一个蒸发源 无离子源辅助

yuvia_ye 发表于 2012-6-15 18:22:34

工件盘温度分布一致吗？

zhm1988 发表于 2012-6-18 08:33:39

yuvia_ye 发表于 2012-6-15 18:22 static/image/common/back.gif
工件盘温度分布一致吗？

这个是一致的 而且转速都是匀速转动
发现不同转速下 折射率高低有些不一样

玲玲 发表于 2012-6-18 08:45:51

其实是折射率不一样所致（受蒸发角影响），机台本身工艺结构问题，要完全一致有困难，

zhm1988 发表于 2012-6-18 08:59:12

玲玲 发表于 2012-6-18 08:45 static/image/common/back.gif
其实是折射率不一样所致（受蒸发角影响），机台本身工艺结构问题，要完全一致有困难，

恩 ，也对 结构角度什么的也有些影响

tfc 发表于 2012-6-18 14:31:09

先修折射率，再修厚度。

相伴/sun天涯 发表于 2012-6-18 15:12:37

tfc 发表于 2012-6-18 14:31 static/image/common/back.gif
先修折射率，再修厚度。

先修折射率怎么修可以教 小第一下

yuvia_ye 发表于 2012-6-21 14:24:27

zhm1988 发表于 2012-6-18 08:33 static/image/common/back.gif
这个是一致的 而且转速都是匀速转动
发现不同转速下 折射率高低有些不一样

我们是有靠离子源来辅助完成的，略微差异还是有存在的
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