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光学镀膜技术及膜系设计
› 真空度?
wdydede
发表于 2012-9-7 21:39:42
真空度?
各位大侠:
2000年的800南光机,现真空度不好。已经修了好长时间了。现象是从大气开始抽,可抽到5x10-3Pa,但时间一长,真空度开始下降到10Pa,机械泵油面不平,好象在抽大气?放气后开始抽又可以了。只开机械泵抽真空,可到3Pa,但时间一长又开始下降!机械泵,各阀门已检查,好象没有问题?
wdydede
发表于 2012-9-9 01:47:02
今天终点于修好了,原来到是大门胶圈坏了
苏州膜头
发表于 2012-9-15 19:37:22
修好了给大家讲一下结果是个好习惯,兄弟好样的。
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真空度?