李昌瑞
发表于 2012-10-28 10:14:44
材料预熔不？材料的的蒸发速率是不是太快？镀膜坏境，镜片干净？
chao_li0622
发表于 2012-10-28 20:08:48
熔了，SIO2的速率：5.TI3O5：4.
李昌瑞
发表于 2012-10-29 15:14:31
这个或许对你有用
chao_li0622
发表于 2012-10-30 20:02:16
谢谢
zyjchj
发表于 2012-11-7 11:24:15
环境很重要，成膜前基片表面是否干净，电子枪周边的清洁度，粗抽的速度等都有关系。