kingpeter 发表于 2012-10-29 22:19:34

挡板关时放电

请教各位:现使用国产机,TIO2侧镀完后,挡板自动关闭时SIO2侧有放电,且室内照明有闪一下的现象,请问下各位是啥原因啊?

xiaohuilee 发表于 2012-10-30 11:36:05

你描述清楚些 两种膜料的坩埚是否相邻 光斑扫描情况

kingpeter 发表于 2012-10-30 15:24:06

左:SIO2,右:TIO2,两挡板离高压端子接近,开时往外打。

LOUYC 发表于 2013-7-23 11:17:03

{:6_143:}

yong0009 发表于 2013-7-23 14:08:18

{:6_143:}
页: [1]
查看完整版本: 挡板关时放电