kingpeter
发表于 2012-10-29 22:19:34
挡板关时放电
请教各位：现使用国产机，TIO2侧镀完后，挡板自动关闭时SIO2侧有放电，且室内照明有闪一下的现象，请问下各位是啥原因啊？
xiaohuilee
发表于 2012-10-30 11:36:05
你描述清楚些 两种膜料的坩埚是否相邻 光斑扫描情况
kingpeter
发表于 2012-10-30 15:24:06
左：SIO2,右：TIO2，两挡板离高压端子接近，开时往外打。
LOUYC
发表于 2013-7-23 11:17:03
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yong0009
发表于 2013-7-23 14:08:18
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