littlefun
发表于 2004-9-16 16:21:00
<P>得到结果了，说一下采取的方法撒，也给其他人指条明路。</P>
ic5
发表于 2004-9-16 16:30:00
<P>是啊，<b><FONT color=#000066>DANNY，这些经验性的东西和大家共享一下啊，说说你采用了什么方法了？？？</FONT></b></P>
DANNY
发表于 2004-9-18 16:31:00
<P>我分别使用日本昭和镀膜机和成都镀膜机做了实验（都不带离子源）</P><P>日本昭和镀膜机Al2O3 折射率基本能保持在1.63以上，甚至能达到1.65</P><P>成都镀膜机每次结果不一样，还没有解决彻底解决方法！</P><P>要点：1）真空度大于 3.0*10E-4 Pa 2）基片加热 300°C3）不加氧气 4）Al2O3 放气充分</P>
pangkebai
发表于 2012-6-13 21:41:20
不加氧气怎么可能是氧化物呢