ghtzna 发表于 2013-7-1 07:37:59

溅射卷绕式镀膜机的TOOLING怎么提取

最近操作溅射卷绕镀膜机，镀AL2O3，速率很慢，来回镀了七次，膜厚才75nm,材料折射率怎么也抓不出来。之前没有操作过此类机器，希望大侠指导哈

csgt0 发表于 2013-7-1 09:28:39

反应溅射是很慢

ghtzna 发表于 2013-7-1 10:34:06

csgt0 发表于 2013-7-1 09:28 static/image/common/back.gif
反应溅射是很慢

镀个几十纳米就把人搞死了

ghtzna 发表于 2013-7-4 10:42:55

沉了

crl0129 发表于 2014-1-2 13:59:27

{:6_145:}

lsx2121 发表于 2014-2-10 14:37:25

做Al2O3 沉积速率 确实比较慢， 若是设备有预算，可以安装一台 反应溅射等离子监控系统，提高反应速率和调节工艺。

ghtzna 发表于 2014-2-13 11:56:52

lsx2121 发表于 2014-2-10 14:37 static/image/common/back.gif
做Al2O3 沉积速率 确实比较慢， 若是设备有预算，可以安装一台 反应溅射等离子监控系统，提高反应速率和调节 ...

需要 多少银子

lisx2525 发表于 2015-6-1 01:55:27

反应溅射等离子监控系统 看你溅射阴极的尺寸， 详细的技术，可联系lisx25252163.com 沟通。 谢谢
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