幻儱 发表于 2014-2-24 09:58:26

关于小孔测量求助


10微米-100微米范围的小孔,不仅仅测孔径,包括深孔内部结构如何变化如:孔壁平行程度,直线程度,孔径圆度等,请问用什么方法及什么装备去测量,大家给建议,谢谢~

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