xiaohuilee 发表于 2014-10-4 20:45:58

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本帖最后由 xiaohuilee 于 2014-10-25 20:49 编辑

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306164500 发表于 2014-10-10 17:00:57

tooling值每炉变化比较大。说明你的机台不稳定，也就是说有问题。如果说机台tooling值稳定的话是可以把tooling看作1来调。如果你的tooling值那么不稳定，不管你怎么调事膜厚，光谱变化还是会很大的， 没有规则的变化，    你还是调整一下机台和制程参数，从这两个方面去解决问题
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