michaelzhj 发表于 2004-10-15 05:07:00

我该怎样测量膜厚？

<P>我该怎样测量膜厚？</P>
<P>1. 用光学干涉仪测量需要镀膜前做一个台阶，而这样的话，破坏了膜，以后将无法测量红外透过率。</P>
<P>2. 采用透过率曲线中的波峰波谷计算。这里我遇到一个问题。我镀的是AlN 膜，在3350波数处总有一个波谷（我猜测这个波谷是AlN膜的特征吸收峰），因为各个工艺参数不同，波峰位置可能不太一样，请问是不是可以籍这相邻的波谷波峰来计算各个参数下的膜厚度呢？吸收峰可以用来作为膜厚测量的依据么？根据那个计算膜厚的swane method公式，厚度不同那么波峰波谷应该是处于不同的波数处的。谁来教我？</P>
<P>3.谁有更好的测量膜厚的方法？</P>

michaelzhj 发表于 2004-10-17 19:09:00

<P>没人理我？</P>

在光学里游荡 发表于 2004-10-18 23:58:00

如果是厚膜，比方在微米级，可以考虑 棱镜耦合仪的方法

michaelzhj 发表于 2004-10-19 05:07:00

一个棱镜耦合仪得多少钱？破坏不破坏膜层？
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