gxd_002 发表于 2004-10-16 00:20:00

[求助]APS1104

莱宝APS1104镀膜机离子源报警：Heater current 是什么原因造成的，且保险和离子源内部的清洁都经过严密的检查，没有发现什么问题，请各位赐教

piss0204 发表于 2004-10-16 07:37:00

<P>你有2台leybold APS1104的機台嗎???</P>
<P>如果APS內的物件都是好的先那你可以先測量再打離子源時TP250是否有輸出電流至APS內</P>
<P>如果沒有就是TP250內有一塊電路板壞了orTP250內有保險絲燒掉</P>

matta 发表于 2004-10-16 17:42:00

<P>跳闸了</P>

piss0204 发表于 2004-10-16 18:03:00

<P>1.檢查APS內之heater cathode 是否有degas 是否清潔</P><P>2. 將離子元啟動檢查TP250 之-w40914電壓0...+10vdc^=0...20vdc ，</P><P>-w19016-w19015   0..20vdc/3..250adc如果無值代表TP250內部電路板損壞(最好不要</P><P>發生)or內部保 險絲燒毀</P><P>3.分解APS檢查內部是否積碳 </P>

piss0204 发表于 2004-10-16 18:03:00

<P>1.檢查APS內之heater cathode 是否有degas 是否清潔</P><P>2. 將離子元啟動檢查TP250 之-w40914電壓0...+10vdc^=0...20vdc ，</P><P>-w19016-w19015   0..20vdc/3..250adc如果無值代表TP250內部電路板損壞(最好不要</P><P>發生)or內部保 險絲燒毀</P><P>3.分解APS檢查內部是否積碳</P>
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